APC（Automatic Pressure Control，APC）自動壓力調節(jié)插板閥應用于真空腔室的壓力調節(jié)或真空隔斷，控制精度高，響應速度快，震動噪音小。
閥板作為調節(jié)元件，通過不同位置改變閥門通經流導大小，控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根據(jù)腔體容積、流量等條件自學習，自動建立壓力控制參數(shù)。用戶上位機輸入設定工藝真空壓力，APC壓力控制器通過與壓力傳感器實時反饋腔體壓力值比對，自動計算所需閥板位置，快速精準到達預定位置并適當微調，以獲得設定的真空壓力值。
創(chuàng)新·誠信·高效
始建于1959年
企業(yè)郵箱
OA系統(tǒng)
