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工藝過程裝備

FJ 系列單抽口分子泵機組--FJ620分子泵機組
◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成無油真空系統(tǒng)。抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
◆ 可單獨移動,方便操作。具有手動、自動功能。

性能指標(biāo)

型號

機組穩(wěn)定抽速(L/S

空載極限真空(Pa

分子泵型號

前級泵

機組尺寸mm,不含羅茨泵)

FJ620

620

9×10-5 

FF-160/620

干泵或旋片泵

650×550×1200


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