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工藝過程裝備

管式充排氣及檢漏裝置
可用于對只有一個開口的管式器件進行抽氣、充氣及檢漏
該設備能使管式器件內部到達高潔凈度環境，能根據要求對管式器件內充不同的氣體，能對管式器件進行檢漏（需搭配氦質譜檢漏儀）。

性能指標

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